BROOKS INSTRUMENT SLA5850, bộ điều khiển lưu lượng khí Brook Instrument

Brooks Instrument SLA5850 là bộ điều khiển lưu lượng khối khí (Mass Flow Controller – MFC). Thiết bị được sử dụng để đo và điều khiển chính xác lưu lượng của các loại khí trong các hệ thống công nghiệp và phòng thí nghiệm

Chức năng chính Brook Instrument

• Đo lưu lượng khí theo nguyên lý cảm biến lưu lượng nhiệt (Thermal Mass Flow).
• Tự động điều chỉnh van điều khiển để duy trì lưu lượng khí theo giá trị cài đặt (Setpoint).
• Đảm bảo độ chính xác và độ lặp lại cao trong các quá trình cần kiểm soát lưu lượng khí.

Thông số nổi bật của SLA5850

• Loại thiết bị: Mass Flow Controller (MFC)
• Môi chất: Khí (N₂, O₂, Ar, He, H₂, CO₂ và nhiều loại khí khác sau khi hiệu chuẩn)
• Dải lưu lượng: Từ khoảng 0.003 slpm đến 50 slpm (tùy cấu hình và loại khí).
• Áp suất làm việc tối đa: Lên đến 1500 psi (103 bar), một số phiên bản đặc biệt cao hơn.
• Độ chính xác: Cao, phù hợp cho các ứng dụng yêu cầu kiểm soát lưu lượng chính xác.
• Giao tiếp: Analog hoặc các chuẩn truyền thông công nghiệp như DeviceNet, EtherNet/IP, EtherCAT, PROFIBUS, PROFINET, RS485 (tùy phiên bản).

Ứng dụng Brook 

Brooks SLA5850 được sử dụng rộng rãi trong:

• Sản xuất bán dẫn (Semiconductor)
• Thiết bị phân tích khí
• Công nghiệp hóa chất
• Dược phẩm
• Pin nhiên liệu (Fuel Cell)
• Thiết bị phủ chân không (Vacuum Coating)
• Phòng thí nghiệm và R&D
• Hệ thống phối trộn khí

Model Brook Instrument tại Vietnam